前奏真空(kōng)退火(huǒ)優質彈簧鋼、工具鋼、青島精密鋼管絲、不鏽鋼産品和(hé)钛合金，可(kě)采用真空(kōng)處理(lǐ)。退火(huǒ)溫度越低(dī)，真空(kōng)度就越高(gāo)。為(wèi)防止鉻蒸發，加速熱傳導，一般采用氣體(tǐ)加熱（保溫）法，注意不鏽鋼和(hé)钛合金不應使用氮，而應使用氩氣。 工藝真空(kōng)淬火(huǒ)真空(kōng)淬火(huǒ)爐按冷卻方法分為(wèi)油淬火(huǒ)和(hé)氣淬火(huǒ)兩類，按站(zhàn)數(shù)分為(wèi)單室式和(hé)雙室式雙室式，904山(shān)\畏嘲是周期性操作(zuò)爐。真空(kōng)油淬火(huǒ)爐為(wèi)雙室，後室置電(diàn)加熱元件，前室下方置油槽。工件加熱後，保溫後移入前室。關閉中門(mén)後，将惰性氣充入前室至約2.66%26times；lo~1.01%26times；10pa（200~760mm汞柱）進入油中。油淬火(huǒ)容易導緻工件表面變質。由于表面活性大(dà)，薄層滲碳可(kě)在短(duǎn)期高(gāo)溫油膜的作(zuò)用下顯著發生(shēng)。此外，碳黑(hēi)和(hé)油在表面的附着力對簡化熱處理(lǐ)過程非常不利。真空(kōng)淬火(huǒ)技(jì)術(shù)的發展主要在于開(kāi)發性能優異、工位單一的氣冷淬火(huǒ)爐。上(shàng)述雙室爐也可(kě)用于氣淬火(huǒ)（前室噴氣冷卻），但(dàn)雙站(zhàn)式操作(zuò)難以在高(gāo)溫下大(dà)量安裝爐，也容易造成工件變形。單站(zhàn)氣冷淬火(huǒ)爐在加熱保溫淬火(huǒ)爐在加熱室內(nèi)進行(xíng)噴氣冷卻。氣冷速度不如油冷速度快，也低(dī)于傳統淬火(huǒ)法中的熔鹽等溫和(hé)分級淬火(huǒ)。因此，不斷提高(gāo)噴冷室壓力，增加流量，利用摩爾質量小(xiǎo)于氮和(hé)氩的惰性氣體(tǐ)氦和(hé)氫，是當今真空(kōng)淬火(huǒ)技(jì)術(shù)發展的主流。20世紀70年代末，氮氣噴冷壓力從（1~2）%為(wèi)26times；10pa增加到（5~6）%為(wèi)26times；10pa使冷卻能力接近正常壓力下的油冷。20世紀80年代中期出現超高(gāo)壓氣淬火(huǒ)，使用（10~20）%為(wèi)26times；10pa氦的冷卻能力等于或略高(gāo)于油淬火(huǒ)，已進入工業實用性。20世紀90年代初，40%為(wèi)26times；10pa氫接近水(shuǐ)淬火(huǒ)的冷卻能力仍處于起步階段。工業發達國家(jiā)已進入高(gāo)壓26%；10%Pa氣淬為(wèi)主體(tǐ)，部分金屬的蒸氣壓(理(lǐ)論值)與中國産氣淬溫度的關系仍處于一般加壓氣淬階段(2%26times；10Pa)型。